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产品描述
参数
产品描述
采用直拉法拉制的大尺寸高纯度单晶系列产品，主要用于晶圆加工时刻蚀工艺中使用的极关键材料。提供满足客户要求的不同尺寸、电阻率的硅棒形态单晶产品。
产品用途
晶圆刻蚀用下电极用加工原材料。
技术参数
|
直径mm |
型号/晶向 |
纯度 |
电阻率（Ω.cm） |
厚度 |
|
φ200-φ |
P/<100>/<111> |
接近11N |
≤0.01 |
客户定制 |
|
1-4 |
||||
|
60-90 |
||||
|
客户定制 |
上一个
- 硅 盘
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无
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