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- 硅筒

产品描述

采用直拉法拉制的大尺寸高纯度单晶系列产品，主要用于晶圆加工时刻蚀工艺中使用的极关键材料。提供满足客户要求的不同尺寸、电阻率的硅棒形态单晶产品。

产品用途

晶圆刻蚀用下电极用初级原材料。

大直径硅材料

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产品描述

参数

产品描述

采用直拉法拉制的大尺寸高纯度单晶系列产品，主要用于晶圆加工时刻蚀工艺中使用的极关键材料。提供满足客户要求的不同尺寸、电阻率的硅棒形态单晶产品。

产品用途

晶圆刻蚀用下电极用初级原材料。

技术参数

外径mm	内径mm	型号/晶向	纯度	电阻率（Ω.cm）	长度mm
φ200-φ475	客户定制	P/<100>/<111>	接近11N	≤0.01	客户定制
				1-4
				60-90
				客户定制

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